超声波12寸晶圆研磨用气静压永磁同步电主轴

技 术 方 案

一、 系统组成

主轴安装方式采用法兰安装方式。

主轴冷却采用水冷却方式。

砂轮安装方式详见用户图纸。

二、 技术特点：

●该磨床采用“纳米中空渗透材料”制作的高刚性、大承载、低耗气量、自润滑不磨损的高精密气静压（空气轴承）电主轴。其轴向和径向承载力高，耗气量低，自润滑功能无气旋转不易抱轴，具有低碳绿色环保不磨损的特点。

●超声波电主轴内置超声波机构可以自动控制转换超声波工作状态，具有提高加工效率、提高表面光洁度、延长砂轮使用寿命、不易粘砂轮等的特性。

●空气电主轴具有气密封+迷宫式防水防尘结构，密封效果更佳。

●主轴中心配置有中心出水孔，冷却水从轴后端进入前端喷出。

●主轴电机采用永磁同步电机，内置高精度编码器，用同步变频控制器控制实现无级调速。

●本系统在气路进口加有压力传感器，具有过流、过载、气压低于下限等故障报警保护功能，并且具有和上位机通讯功能（RS-485）。

三、 ZCS-190QD06气静压电主轴主要技术指标

2、  主要精度指标

②、 端面跳动 ≤ 0.3um

④、 动态全速度范围内振动V ≤ 0.1mm/s

⑤、 噪声全速度范围内 ≤ 50 dB

⑥、 主轴外壳耐高温 ≤ 30 ℃

⑦、 径向刚性10kg/um

⑧、 径向载荷50kg

⑨、 轴向刚性35kg/um

⑩、 轴向载荷150kg

3、特性曲线

4、产品尺寸

上一个：工件轴用气静压陶瓷球复合轴承电主轴

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