超声波8寸晶圆研磨用气静压永磁同步电主轴

ZCS-165QD06
晶圆研磨用超声波气静压永磁同步电主轴

一、系统组成

本系统主要是由ZCS-165QD06永磁同步电主轴，高精度编码器，5.5KW同步驱动控制器，三级精密过滤器,空气压力保护开关组成系统。

主轴安装方式采用法兰安装方式。

主轴冷却采用水冷却方式。

砂轮安装方式详见图纸。

二、技术特点：

●该气静压电主轴采用 “纳米碳纤维材料”制作的高刚性、大承载、低耗气量、自润滑不磨损的高精密气静压（空气轴承）电主轴。其轴向和径向承载力高，耗气量低，自润滑功能，具有低碳绿色环保永不磨损的特点。

●超声波电主轴内置超声波机构可以自动控制转换超声波工作状态，具有提高加工效率、提高表面光洁度、延长砂轮使用寿命、不易粘砂轮等的特性。

●空气电主轴具有气密封+迷宫式防水防尘结构，密封效果更佳。

●主轴中心配置有中心出水孔，冷却水从轴后端进入前端喷出。

●主轴电机采用永磁同步电机，内置高精度编码器，用同步驱动控制器控制实现无级调速。

●本系统在气路进口加有压力传感器，具有过流、过载、气压低于下限等故障报警保护功能，并且具有和上位机通讯功能（RS-485）。

三、 ZCS-165QD06气静压电主轴主要技术指标

1、主要技术指标

2、主要精度指标

①、轴头径向跳动≤ 0.1um

②、端面跳动 ≤ 0.2um

③、动平衡精度等级≤ G0.4

④、动态全速度范围内振动V ≤ 0.5mm/s

⑤、噪声全速度范围内 ≤ 60 dB

⑥、主轴外壳耐高温 ≤ 30 ℃

⑦、径向刚性8kg/um

⑧、径向载荷35kg

⑨、轴向刚性20kg/um

⑩、轴向载荷115kg

3、特性曲线

4、产品尺寸