一、技术特点:
● 本产品采用“纳米中空渗透材料”制作的高刚性、大承载、低耗气量、自润滑不磨损的超精密气静压轴承转台。轴承表面有上百万个微小气孔,具有轴向和径向承载力高,耗气量降低,自润滑功能,具有低碳绿色环保不磨损的特点。
● 转台经过精密动平衡测试与处理,达到G0.4级。
● 在气路进口处加有压力传感器,具有气压低于下限故障报警保护功能。
二、主要技术指标
1、 轴向承载 :≥150kg
2、 径向承载 :≥50kg
3、 旋转精度 :≤ 0.1um
4、 动平衡精度:G0.4级,振动量≤ 0.05mm/s
5、 供气压力范围:0.45-0.55MPa
6、 用气量:≤60L/min
三、 外形尺寸