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微小孔磨削数控磨床
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高压共轨数控磨床
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气静压电主轴
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专业提供:碳化硅晶圆超声波高速减薄抛光主轴，超声波高速划片切割主轴，欢迎咨询400 0379 959
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2023-07-11
2023-07-11
碳化硅超声—电化学抛光仿真与研抛实验研究
2023-07-11
摘要:碳化硅传统的减薄抛光方法表面质量较差,去除效率很低。超声波—电化学抛光是结合了电化学抛光与超声波辅助抛光的复合抛光技术,通过实验测试具...
2023-06-26
2023-06-26
DISCO实现碳化硅片SiC 材料加工—全流程的降本提效！
2023-06-26
碳化硅单晶具有优异的热、电性能，在高温、高频、大功率、抗辐射集成电子器件领域有着广泛的应用前景。碳化硅硬度高、脆性大、化学性质稳定，传...
2019-04-09
2019-04-09
我公司研发制造的半导体光刻机专用超精密气浮导轨通过韩国LTD亨利特公司的验收
2019-04-09
2018年11月我公司与韩国LTD亨利特公司签订了为其半导体光刻机提供气浮导轨的供货合同。 我公司根据客户提出的技术要求，提出了详细的设计制...
2014-08-05
2014-08-05
高精度加工机床的关键部件技术（一）
2014-08-05
1 引言 高精度加工机床的研制开发始于20世纪60年代。当时在美国因开发激光核聚变实验装置和红外线实验装置需要大型金属反射镜，因而急需开发制...
2014-07-19
2014-07-19
超精密加工机床的关键部件技术（二）
2014-07-19
4 进给与微量进给系统 进给系统中常用的是各种进给丝杠，在高精度加工机床中滚珠丝杠因其反向间隙小、传动效率高而广泛的应用。精度更高的静压...
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