第三代半导体碳化硅切割加工 划片机超声主轴升级推广活动方案

一、技术背景以及应用

        第三代半导体碳化硅单晶具有优异的热、电性能，在高温、高频、大功率、抗辐射集成电子器件领域 有着广泛的应用前景。碳化硅硬度高、脆性大、化学性质稳定，传统加工方法不完全适用，因此在加工过程中会出现效率降低、良品率低、加工成本增加的现象。

        近年DISCO推出碳化硅单晶超声波划片切割加工技术，其采用的是电子感应式超声法兰技术，可以提高处理速度和质量、减少韧性材料的毛刺；该项技术已在中国比亚迪应用于碳化硅晶片的切割。

        2018年我公司推出了具有自主知识产权的物理超声波主轴技术，以及超声波磨床和高光机，取得了多项专利技术。5年来广泛应用在光学、新能源、航空航天等领域里，对金刚石、陶瓷、石英玻璃、单晶硅、金属等材料进行超精密磨削抛光切割加工，积累了大量的超声加工经验与客户群，主要的技术特点如下：

        1、磨（切）削力强，是普通磨（切）削力的 3～10倍，在相同的加工工艺条件下的产能效率可大幅提高；

        2、加工精度可以提高一个等级以上；

        3、砂轮使用寿命大幅度提高，耐用性增强 10 倍以上；

        4、抑制毛刺、崩边产生，降低切割应力，自激振动的抑制性能强，加工系统稳定性能提高；

        5、能抑制砂轮表面的附着物，不容易粘黏砂轮，不容易产生积削瘤；

        6、更适合薄壁件、细长孔（杆）等难加工材料的形态部件；

        7、切割表面光滑，粗糙度可大幅度降低；

        8、超声波振动的空化作用可提高冷却效果，减少磨削热量，避免产品加工表面的烧伤。

二、升级内容及流程

        1、升级对象：对所有的新老砂轮式划片机主轴进行超声升级，包含DISCO所有规格划片主轴、东京精密TSK所有规格划片主轴，RPS所有规格划片主轴、LP所有规格划片主轴、ADT所有规格划片主轴、国产所有规格划片主轴。

        以上所有主轴超声升级后，具有对一代、二代、三代半导体划片切割加工能力，提升效果可以按照所加工的材料，和选用相对应的砂轮，实际测试出不同的优化效果为准。

        2、升级方法及内容：在主轴内部安装超声部件，替代原厂部件，不损坏任何部件，可随时还原出厂状态。保留原厂主轴替换的部件以及所有技术指标与功能，并附加超声功能。不改变所有电缆、冷却水、压缩空气接线方式，不改变变频器驱动、以及通讯控制方式。

        3、升级流程：双方签订主轴超声升级合同，客户将主轴发到我公司生产基地开展升级，正常情况将在15-20个工作日内完成超声升级工作，在完成并检测合格后，向客户出具检测报告，同意付款发货。不同意恢复原样归还客户。质保期一年。第一次可安排售后技术人员现场指导调试。

        4、技术参数

        5、本活动的超声技术来自于洛阳传顺机械设备有限公司的专利，发明专利号：201911122869.2（公示），实用新型专利号：201921979720.1。

        6、联系人：魏传波  电话：13693837841   邮箱：136473220@qq.com

地址：河南省洛阳市宜阳县杨店村河南东瑞工业园。

洛阳传顺机械设备有限公司

2023年7月18日